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MPI 探針臺

全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計；
無縫集成任何高達1.5THz的帶差分或寬帶擴頻器；最大的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作；

MPI 手動晶圓級探針臺系統
MPI TS50 – The University Talent TS150&TS200&TS300
MPI 手動晶圓級探針臺系統（微屏蔽）
TS200-SE Probe System TS300-SE Probe System
MPI 手動晶圓級太赫茲探針臺系統
TS150-THZ TS150-AIT & TS200-THZ
MPI 高功率探針臺系統
TS150-HP & TS200-HP TS2000-DP Probe System TS2000-HP Probe System TS3000-HP & TS3500-HP
MPI 半自動晶圓級探針臺系統
TS2000 Probe Systems TS2000-SE Probe System TS2000-IFE -THZ TS3000 Probe System TS3000-SE Probe System
MPI 全自動晶圓級探針臺系統
TS2000-IFE Series TS2500 Series Probe System TS3500 Probe System
MPI 測試系統選件
DC & RF Probe Arms MPI MicroPositioners Chuck System
MPI SENTIO Software Suite
MPI NoiseShield
NoiseShield?

R&S 羅德斯瓦茨

● 隨時可以投入使用、可以修改的應用測試、項目和器件，縮短測試開發時間

● 業內第一臺內置測量視頻的儀器，測試視頻由全球應用工程師提供，分為4

種語言，縮短學習周期

● pin to pad接觸檢查，確保測量可靠

● 多種測量功能

● 數據顯示、分析和代數運算功

網絡分析儀
R&S?ZNB 矢量網絡分析儀 R&S ZNA矢量網絡分析儀

測試儀表

4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀，可以同步查看電流電壓 (I-V)、電容電壓 (C-V) 和超快速脈沖式 I-V 特性。作為性能最高的參數分析儀，4200A-SCS加快了半導體、材料和工藝開發速度。

Keithely 4200A-SCS

全自動半導體參數分析儀系列

Tektronix 示波器系列

矢量接收機負載牽引系統

噪聲參數測試系統

脈沖I/V測試系統

PNA網絡分析儀 N5291A

FS-Pro 半導體參數測試系統

低溫磁場探針臺

該系統提供了一個經濟的, 穩定的, 可靠的超低溫和強磁場環境用于微納器件和芯片的測試。得益于優異的振動隔離、熱力學，使這套系統應用非常廣泛，橫跨納米電子學自旋電子學 , 分子電子學等。

LRT-001 微型探針冷熱臺

納米探針臺

超低溫磁場探針臺

三維磁場探針臺

超低溫半自動探針臺

快速高低溫系統

ThermalAir TA-5000系列溫度強制系統將精確的熱測試功能直接帶到測試應用中，精確地定位在需要熱調節溫度循環的地方。 ThermalAir TA-5000溫度系統為一系列產品和技術提供靈活的熱測試解決方案。

高溫爐

TA-5000A

ICE低溫恒溫器

閉循環制冷機恒溫器（光學緊湊）

閉循環制冷機恒溫器（光學）

閉循環制冷機恒溫器（電學緊湊系列）

閉循環制冷機恒溫器（電學系列）

液氮恒溫器-顯微鏡（LNC-MS系列）

液氮（氦）恒溫器-連續流（LNC-CS系列）

液氮恒溫器-電學（LNC系列）

液氮恒溫器-光學靜態氣氛（LNC-SG系列）

液氮恒溫器-光學（LNC-W系列）

稀釋制冷機

300mK He-3低溫恒溫器

1.5K系列低溫恒溫器

ICE 4k/10k系列恒溫器

Vcsel光電測試系統

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RA-880激光開封機匯聚了幾十年專業知識與沉淀的創新設計。設備底座由穩固的機械機構組成，所有軸全由CNC控制。

Elite Etch Cu 化學開封機

RA-880 激光開封機

霍爾效應測試

? 電阻率測量范圍:10-4-109?·cm(取決于樣本)
? 遷移率:1-107cm2/V·S(取決于樣本)
? 載流子濃度: 107 -1021 per cm3 (取決于樣本)
? 電流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance

霍爾效應測試系統ezHEMS

霍爾效應測試系統HEMS

振動樣品磁強計VSM

霍爾測試儀

臺階儀

? 可追溯性：通過ISO9000國際認證，可追溯 NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產品出廠皆有出廠測試認證報告
? 超高垂直直線度精度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
? 可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內應力

Kosaka 6寸臺階儀

Kosaka 便攜式臺階儀

Kosaka 粗糙度輪廓儀

測試耗材

MPI公司通過引入TITAN-RC探針來擴展RF TITAN探針的系列。新的探針模型的特點是觸頭寬度減小了33％，減小到20μm。
TITAN?探針技術的最強功能之一是其均勻的磨損,由于獨特的探頭設計，其電氣特性保持不變。因此，TITAN?探針的使用壽命超過了同類探針技術的使用壽命。

TITAN? 探針技術

TITAN?多觸點探頭

MPI RF Calibration Substrates

MPI QAlibria?

MPI射頻電纜配件

封裝器件測試夾具

磁場產品

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二維磁場探針臺（PS-2D）

一維磁場探針臺

亥姆霍茲線圈

螺線管磁體

三維電磁鐵（矢量電磁鐵）

電磁鐵（C型）

Afore產品

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EVS Probe Card

FCB Prober Card

Cantilever Probe Card

Hanwa產品

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Hanwa HED-W5000M

Hanwa HED-T5000

Hanwa HDE-C5000R

Hanwa HED-N5000

Hanwa HCE-5000

HPPI

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