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    納米探針臺

    納米探測面臨的挑戰
    · 定位精度
    · 安全(軟)著陸接觸
    · 具有適當尖端半徑的可靠探針頭
    · 清潔環境:試驗箱、樣品、探針頭
    · 振動敏感性低
    · 噪聲抑制
    · 漂移補償
    · 電路編輯/延遲:在FIB角度操作

    特點與優勢

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    • 優勢

      電流成像

      ·   快速圖像采集(每幀約5秒)

      ·   不需要更容易控制的反饋

      ·   原位應用,掃描電鏡可以用來確定投資回報率

      ·   與標準鎢探針頭配合使用

      ·   picoamp分辨率,識別泄漏

      ·   污染物清除

       

    • 恰當的高級探測工具

       

       

      ·    適應您對工作流程的快速理解

       

      ·    相關的光鏡和電子顯微鏡,EBIC/EBAC,電流成像-獲得整個圖像

       

      ·     快速發現故障(開路、短路、連接泄漏、晶體管故障等)

       

       

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