
LRT-001 微型探針冷熱臺
· 結構緊湊,適用于各種變溫測試
· -190℃~600℃(配液氮致冷模塊)
· 氣密腔室設計,可通保護氣氛
· 4探針,手動定位(可擴展為8個)
· 上位機軟件控制
· 支持改動或定制
全球首個155mm高頻專用探針臺,專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計;
無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或寬帶擴頻器;最大的機械穩定性和可重復性,結合方便和安全的操作;
· 結構緊湊,適用于各種變溫測試
· -190℃~600℃(配液氮致冷模塊)
· 氣密腔室設計,可通保護氣氛
· 4探針,手動定位(可擴展為8個)
· 上位機軟件控制
· 支持改動或定制
磁吸式探針通過底部的磁鐵吸附在底座上,探針移動方便
固定式探針,接觸點位置可調,對樣品的接觸壓力可調,電接觸性好
1. 載樣臺材質:銀質
2. 溫度傳感器及數量:PT100,2個(配置載樣臺表面溫度監測)
3. 溫度控制:高精度PID控制(高低溫控制器GD-001)
4. 溫度范圍:-190℃~600℃(配液氮致冷模塊)
5. 控溫速度:0~10℃/min
6. 加熱時間:3min(從室溫到600℃)
7. 致冷時間:4min(從室溫到-190℃)
8. 溫度分辨率:0.1℃
9. 溫度穩定性:±0.1℃(>-160℃),±0.3℃(<-160℃)
1. 光路:反射光路
*可升級為透射光路
2. 視窗:可拆卸更換,可用不同材質玻璃實現不同波段光觀察
3. 最小物鏡工作距離:12.5mm
4. 透光孔:默認無透光孔,可升級增設透光孔
5. 上蓋視窗:φ25mm
6. 視窗除霜:負溫下吹氣除霜管路
1. 樣品臺面尺寸:30x30mm
2. 樣品腔高度:9.5mm(載樣臺上部空間高度)
3. 放樣:移除上蓋后放置樣品,固定探針
4. 氣氛控制:默認氣密腔室,通過2個快速自鎖接頭,充入保護氣氛
*可升級為真空腔室,10 mBar
5. 外殼冷卻:通循環水,防止外殼過熱
6. 安裝固定:水平安裝
*可升級兼容垂直安裝
7. 臺體尺寸:160x150x29mm
1. 探針:默認為4個固定式探針(紫銅鍍金),手動定位
*可升級探針數量,最多8個,也可選用磁吸式探針(鎢鋼鍍金)
2. 探針接口:默認為BNC接頭
*可升級為同軸BNC
3. 樣品臺面電位:默認電懸空,可選電接地
LRT-001冷熱臺 x1 GD-001高低溫控制器 x1
液氮罐 x1
電腦主機/安裝支架/測試源表/同軸BNC/真空系統/循環水系統/濕度
控制系統/定制控制軟件
上海市松江區廣富林東路199號啟迪漕河涇三期13幢2層
上海市高新技術企業,上海市“專精特新”企業
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