
三維磁場探針臺
MPS-C-350探針臺可以完全將樣品放在可控三維磁場進行測試。 MicroXact獨特的設計使自旋電子器件、納米電子器件和許多其他材料和器件的晶圓級測試成為可能。
全球首個155mm高頻專用探針臺,專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計;
無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或寬帶擴頻器;最大的機械穩定性和可重復性,結合方便和安全的操作;
MPS-C-350探針臺可以完全將樣品放在可控三維磁場進行測試。 MicroXact獨特的設計使自旋電子器件、納米電子器件和許多其他材料和器件的晶圓級測試成為可能。
· 磁場可以以三種模式被任意控制:固定的值, 線性掃描, 或者用戶可以自定義。
· Wafer size:10mm,可升級到200mm
· 磁場:方向任意三維大至6kOe (0.6T)
· 定向精度+/- 1.0
· 在10mm直徑范圍內的均勻性+/- 2%
· 穩定性優于0.1%
· 頻率范圍:DC to ~ 67GHz
· 分辨率:200mG
· CHUNK: Isolated, grounded or coaxial.
· 運動范圍:100mm x 100mm
· 集成MPS系列軟件,可在完全可控的三維磁場中快速、簡便地捕獲圖像/視頻。
上海市松江區廣富林東路199號啟迪漕河涇三期13幢2層
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