超低溫磁場探針臺
半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統)、4.5K(dualCCR系統)甚至低于4K(triple CCR系統)的情況下能夠快速、經濟地進行測試。低溫探針臺，設計用于支持在真空或氣體環境中對高達100mm、150mm或高達300mm的晶圓進行自動動或半自動測試。 系統精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統建立在一個振動補償的多功能平臺上，能夠配置來各種測試應用程序。
全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計；
無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或寬帶擴頻器；最大的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作；
半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統)、4.5K(dualCCR系統)甚至低于4K(triple CCR系統)的情況下能夠快速、經濟地進行測試。低溫探針臺，設計用于支持在真空或氣體環境中對高達100mm、150mm或高達300mm的晶圓進行自動動或半自動測試。 系統精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統建立在一個振動補償的多功能平臺上，能夠配置來各種測試應用程序。
· 可用于高達100mm、150mm和200mm的晶圓測試
· 可配置4或6個探針臂。
· 還可以選擇探卡進行測試
· 顯微鏡選擇包括7:1,12.5:1和16:1數碼變焦顯微鏡
· BNC, Triax, DC pin and RF 可選
· 用于探針微米級定位的高分辨率探針臂
· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可選
· RF選件包括可定制的RF探頭、RFchunk和屏蔽罩系統
· 具有良好的隔振性能
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