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    Kosaka 粗糙度輪廓儀

    KOSAKA SE 500-59表面粗糙度測定機是一款KOSAKA新推出的經濟型便攜式臺式兩用機型。根據您的需求任意組合,并可對多種零件表面的粗糙度,波紋度以及原始輪廓進行多參數評定,是一款帶有專用控制器的高精度,高性能,表面粗糙度測量儀器,簡單操作,顯示一目了然。

    特點與優勢

    • 微細形狀測定機(臺階儀)Step Height Measuring System

      ET150K31 組合

      產品特性

      · 設備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震

      · 獨特的直動式傳感器設計

      · Z方向重復性1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

      · Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

      · 樣品臺的垂直直線度保證:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

      · 高精度的X方向位移光柵尺控制,X方向測量長度大至100mm,Y方向可移動150mm

      · 自帶三維測量功能

      ET150K31的結構

    • 花崗巖低重心設計

      極佳重復性與線性度

      采用直動式檢測方式

      可避免圓弧補正誤差

      可避免Bearing間隙誤差

      臺階測定重復性:1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

      Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

    • 直動式檢出器構造

       

      直動式檢出器測量邊沿效應

       

    • 重復測量數據 (10 times)

      Taylor Hobson 標準樣

    • 直動式檢出器測量邊沿效應

       

       

      線性度

      Vertical linearity(垂直線性度) : ±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

      線性度計算公式: 誤差范圍 / Z方向測量范圍

      測量設備型號 : ET-150系列

      測試樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認證的標準樣品

      Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um

      VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm

      VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

       

    • VLSI SHS-9400QC

       

      VLSI SHS-440QC

       

       

    • 高分辨率

      縱軸分辨率高至0.1nm
      橫軸分辨率高至0.1um
      X測定速度可調:5μm~2mm/s
      可測量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺階等

      超高垂直直線度

      垂直直線度:任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度

      可追溯性:通過ISO9000國際認證,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產品出廠皆有出廠測試認證報告

      超高垂直直線度精度保證:  局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

                                                   可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內應力

                                                   超高垂直直線度的優勢

       

    • ET150K31絕佳的設計,達到最佳的測量效果

       

       

      設備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震

      測量穩定性和設備穩定、耐用性較好

      直動式檢測器

      測量重復性&線性度較好,確保各樣品臺階測量的精度、準確度

      樣品臺超高的垂直直線度保證

      進一步提高臺階測量精度,確保樣品形狀不變形

      樣品臺X方向光柵尺定位,最長測量距離100mm,測量速度可快至5μm/s

      樣品周期性結構不失真,長距離有利于測定多種國際參數

       

       

      實時監控測量位置

       

    • 超高直線度國際認證數據

      位移光柵尺與時間取樣

    • 形狀及粗度解析

      粗度規范對應:可對應各種國際新舊標準規范,測量參數多達60種;可測量臺階及傾斜度。

      超大測定力范圍

      測定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意設定可測定軟質材料面,如:COLOR FILTER、SPACER、PI等

    • 觸針保護蓋板及方便更換

       

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