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    Kosaka 6寸臺階儀 ET200A

    ? 設備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震
    ? 獨特的直動式傳感器設計
    ? Z方向分辨率0.1m;重復性1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm
    ? Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)
    ? 樣品臺的垂直直線度保證:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
    ? 高精度的X方向位移光柵尺控制,X方向測量長度大至100mm,Y方向移動大至150mm
    ? 選配三維測量功能

    特點與優勢

    • 極佳重復性與線性度

      •   采用直動式檢測方式

      •   可避免圓弧補正誤差

      •   可避免Bearing間隙誤差

      •   臺階測定重復性:1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

      •    Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

       

       

       

    • 高分辨率

      • 縱軸分辨率高至0.1nm

       

      • 橫軸分辨率高至0.1um

       

      • X測定速度可調:5μm~2mm/s

       

       

       

    • 低測定力

       

      • 測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設定

       

      • 可測定軟質材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

       

       

       

       

    • 真直度保證-1

       

       

       

       

    • 線性尺與時間取樣

       

       

       

    • 形狀及粗度解析結果

       

       

       

      粗度規范對應:可對應各種國際新舊標準規范,測量參數多達60種

    • 成交客戶(包括但不限于)

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