特點與優勢

• 極佳重復性與線性度

  •   采用直動式檢測方式

  •   可避免圓弧補正誤差

  •   可避免Bearing間隙誤差

  •   臺階測定重復性：1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

  •    Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

   

   

   

  

• 高分辨率

  • 縱軸分辨率高至0.1nm

   

  • 橫軸分辨率高至0.1um

   

  • X測定速度可調：5μm~2mm/s

   

   

   

  

• 低測定力

   

  • 測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設定

   

  • 可測定軟質材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

   

   

   

   

  

• 真直度保證-1

   

   

   

   

  

• 線性尺與時間取樣

   

   

   

  

• 形狀及粗度解析結果

   

   

   

  粗度規范對應：可對應各種國際新舊標準規范，測量參數多達60種

  

• 成交客戶(包括但不限于)