特點與優勢

• 簡易載物臺

   

   

  TS50 可以配置兩種不同版本的卡盤平臺控制。Easy Stage 是非常簡單的真空控制、單手操作單元，可實現非?？焖俸椭庇^的 XY-Theta 運動。這是簡單 DC/CV 應用的典型配置。

  

• 線性50×50mmXY載物臺

   

   

  線性 50×50 mm XY 載物臺可實現快速且獨立的軸移動，并具有額外的精細和準確的 25×25 mm XY-Theta 千分尺定位。RF 或與熱卡盤結合使用的必備選項。

   

  

• 20毫米高度調整

   

   

  探針臺具有支持各種應用所需的 20 mm 微調高度，可用于所有 MicroPositioner 的接觸/分離控制。

   

  

• 三軸卡盤

   

   

  對于射頻應用，TS50 的 50 毫米三軸卡盤安裝有一個內置陶瓷材料的輔助卡盤，用于精確的射頻校準。

   

  
   

• MicroPositioners的矩形調整

   

   

  此外，兩個端口 RF MicroPositioner 的矩形調整是保證 RF 探頭之間對齊的標準功能。

   

  

• 微定位器的多種配置

   

   

  它可以配置多達 8 個 MPI MP25 或 6 個 MPI MP40 MicroPositioner，以滿足多個焊盤和設備布局要求。

   

  

• 各種光學選項

   

  提供多種光學器件，可選擇適用于所有常見 DC/CV 應用的立體顯微鏡或適用于射頻或負載牽引配置的單管高放大倍率顯微鏡。

   

  

• 集成電路座

   

  可選的單個 IC 支架將 TS50 轉變為理想的平臺，用于測試小至 1×1 mm 的單個 DUT。它包括一個穩定且方便的真空開關，可正確固定大至 10×10 mm 的芯片尺寸。在平行高度上集成了一個集成校準基板支架，可以進行射頻測量，并且可以安裝在任何卡盤上，包括各種熱卡盤。