全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計；
無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或寬帶擴頻器；最大的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作；
TS150-AIT和TS200-THZ探針系統專為新興的THz應用而設計，例如高速5G通信，衛星，非侵入性光譜，醫療保健設備以及短距離汽車雷達等，其方法是在同一探針臺上增加有源阻抗調諧器集成?？山Y合毫米波，太赫茲（THz）和自動阻抗調諧器應用的要求，以較好的測量方向性提供準確的測試。
可達1.5THz的帶寬、差分或寬帶擴頻器和/或自動阻抗調諧器的無縫集成；
擴展器/調諧器集成的新穎設計，可實現很好的測量動態；
較強的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作。
MPI TS200-THZ手動探針系統具有很強的功能。這些高度可重復性（1μm）的壓板提升設計，具有用于安全，接觸，分離（300μm）和加載（3mm）的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度（50、100或150 μm），可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。
MPI TS200-THZ手動探針系統具有很強的功能。這些高度可重復性（1μm）的壓板提升設計，具有用于安全，接觸，分離（300μm）和加載（3mm）的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度（50、100或150 μm），可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。
MPI TS200-THZ手動探針系統具有很強的功能。這些高度可重復性（1μm）的壓板提升設計，具有用于安全，接觸，分離（300μm）和加載（3mm）的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度（50、100或150 μm），可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。
MPI TS200-THZ手動探針系統具有很強的功能。這些高度可重復性（1μm）的壓板提升設計，具有用于安全，接觸，分離（300μm）和加載（3mm）的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度（50、100或150 μm），可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。
MPI TS200-THZ手動探針系統具有很強的功能。這些高度可重復性（1μm）的壓板提升設計，具有用于安全，接觸，分離（300μm）和加載（3mm）的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度（50、100或150 μm），可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。
Lock Position Unlock & loading Position Separation Position Contact Position with 50 um Hover Height In Contact MPI獨特的氣墊載物臺設計，具有簡單的單手定標器控制，為快速的XY導航和晶圓裝載提供了很好的的操作便利性，同時搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。
TS150-THZ具有10mm的精細卡盤Z調整，旨在靈活地集成不同的擴頻器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。對于在同一探頭系統上使用多個彎曲解決方案的設置非常有利，可以輕松快速地進行設置。
專用的極剛性探針臺板設計可容納兩個東西方向的粗體——東西向配置的下行MP80大面積微選址器。通過將兩個南北“電橋”作為標準配置，可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。
市場上另一個MPI開拓性解決方案——獨特的MP80-DX，具有低至1µm的簡單、精確的精確度，是精確且經濟高效的多線TRL的理想選擇，即多行TRL——毫米波和次太赫茲范圍內的RF校準方法。
TS200-THZ提供多種卡盤選件，以滿足不同的預算和應用要求，例如MPI：帶BNC連接器的標準RF卡盤；
專用mmW卡盤，完全內置具有高導熱率（> 180 W / Km）的特殊陶瓷；甚至
ERS AirCool射頻卡盤（從20°C到200°C或更高），帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔。
所有卡盤都有兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的RF校準，尤其是在40 GHz以上的范圍內。
提供專用的MPI光學元件，可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學變焦高達12倍，工作距離超過45毫米。由于集成擴頻器固有的空間限制，要求與DUT的距離較短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmw應用。
TS200-THZ集成了全新的擴頻器集成設計。為了很好地減少到DUT的距離并提供較佳的測量方向性，MPI引入了一種新穎的概念，將擴展器懸停在整個200mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺的附加關鍵功能是輕松，便捷和快速地重新配置。
上海市松江區廣富林東路199號啟迪漕河涇三期13幢2層
上海市高新技術企業，上海市“專精特新”企業
COPYRIGHT 2017-2022 ? 英鉑科學儀器（上海）有限公司 ALLRIGHT RESERVED 備案號：滬ICP備18025555號-2 XML地圖
