
TS3000-HP & TS3500-HP
TS3000-HP 和 TS3500-HP 是 MPI 的兩個新的專用探針臺,用于在-60 ° C至 +300 ° C的寬溫度范圍和 3 kV(三軸)/10 kV(同軸電纜)和 600 A 測量范圍。對薄晶圓或 Taiko 晶圓進行測試是兩種系統都可用的選項。 兩個系統都包含 MPI 的 ShielDEnvironment?,用于超低噪聲測量,并與 WaferWallet?, TS3500-HP 是提高生產力(最高 10 倍)和處理全自動晶圓處理(例如 150 mm SiC、200 mm GAN 以及 300 mm SiGe 晶圓)的理想選擇。