特點與優勢

• WaferWallet™

  在建模和新技術開發過程中進行器件表征的常見做法是，通過極其精確的IV-CV，1 / f，RF，mmW和負載拉力測量從典型的幾個晶片中提取數據。

  MPI的WaferWallet ™擴展了TS3500系列自動化功能，而不會影響測量能力。WaferWallet ™設計有五個單獨的托盤，可按人體工程學手動裝載150、200 或300毫米的“模型”晶圓，可以在不同溫度下用多達五個相同的晶片進行全自動測試。

   

   

   

  

• 冷熱硅片的交換

   

  在晶圓裝載和卸載過程中不再需要使卡盤返回到環境溫度。借助WaferWallet ™，MPI通過獨特的裝載/卸載晶圓功能而使卡盤保持在任意測試溫度，從而節省了寶貴的時間。

   

   

   

   

   

   

  

• 測試自動化

  通過缺口指示器進行簡單且經濟高效的手動粗調對準后，使初始晶圓裝載快速可靠。根據操作方法的不同，其他選項包括晶圓預對準器，ID讀取器或TS3500-SE上的PTPA功能，這些都是提高自動化水平的附加功能。

   

   

   

   

   

   

   

  

• SENTIO® 控制系統

  MPI的SENTIO®  具有高級GUI設計的3.0軟件套件基于革命性的專利技術：

  多點觸控，直觀的操作；

  單窗口GUI，類似于常見的移動設備；

  系統狀態的儀表板視圖，可簡化導航；

  智能，可預測的操作指南；

  免費升級探針臺的使用壽命。

  通過WaferWallet ™ 儀表板的簡單視圖，操作員可以識別已裝載或空的托盤，晶片直徑（150或200或300 mm），平面/缺口方向，晶片ID（如果適用），已測試的WaferMap的百分比等等。