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    產品中心

    TS3500 Probe System

    TS3500和TS3500-SE 在功能上與MPI的 TS3000 和 TS3000-SE 300毫米探針臺具有相同的功能,并通過配置或升級MPI獨特的WaferWallet?而具有完全自動化的功能。 優勢:
    適用于多種晶圓量測應用
    ? 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f
    ? 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
    ? 可靠性測試 - 精確的壓力測試
    ? 先進的測試控制軟件套件
    ? 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C
    MPI ShielDEnvironment? 屏蔽環境
    ? 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境
    ? 支持飛安級低漏電值量測

    特點與優勢

    • WaferWallet™

      在建模和新技術開發過程中進行器件表征的常見做法是,通過極其精確的IV-CV,1 / f,RF,mmW和負載拉力測量從典型的幾個晶片中提取數據。

      MPI的WaferWallet ™擴展了TS3500系列自動化功能,而不會影響測量能力。WaferWallet ™設計有五個單獨的托盤,可按人體工程學手動裝載150、200 或300毫米的“模型”晶圓,可以在不同溫度下用多達五個相同的晶片進行全自動測試。

       

       

       

    • 冷熱硅片的交換

       

      在晶圓裝載和卸載過程中不再需要使卡盤返回到環境溫度。借助WaferWallet ™,MPI通過獨特的裝載/卸載晶圓功能而使卡盤保持在任意測試溫度,從而節省了寶貴的時間。

       

       

       

       

       

       

    • 測試自動化

      通過缺口指示器進行簡單且經濟高效的手動粗調對準后,使初始晶圓裝載快速可靠。根據操作方法的不同,其他選項包括晶圓預對準器,ID讀取器或TS3500-SE上的PTPA功能,這些都是提高自動化水平的附加功能。

       

       

       

       

       

       

       

    • SENTIO® 控制系統

      MPI的SENTIO®  具有高級GUI設計的3.0軟件套件基于革命性的專利技術:

      多點觸控,直觀的操作;

      單窗口GUI,類似于常見的移動設備;

      系統狀態的儀表板視圖,可簡化導航;

      智能,可預測的操作指南;

      免費升級探針臺的使用壽命。

      通過WaferWallet ™ 儀表板的簡單視圖,操作員可以識別已裝載或空的托盤,晶片直徑(150或200或300 mm),平面/缺口方向,晶片ID(如果適用),已測試的WaferMap的百分比等等。

       

       

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