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    產品中心

    TS2000 Probe Systems

    MPI TS2000的專用設計可滿足高級半導體測試市場的需求。該系統與所有MPI系統附件完全兼容,主要設計用于解決故障分析,設計驗證,IC工程,晶圓級可靠性以及對MEMS、高功率、RF和mmW器件測試的特殊要求。
    優勢:
    適用于多種量產型晶圓量測應用
    ? 模塊量測 :DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
    ? 射頻量測 :至高 110 GHz
    ? 高功率量產測試 : 至高 10 kV / 600 A
    ? 開放式溫區:25°C至 300 °C
    ? 內置被動式防震系統
    ? 可乘載達 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 標準探針卡夾具

    特點與優勢

    • 超大面積工作臺

      TS2000系列提供了易于使用的大型探針座放置臺面,以適應多達12套直流或4套射頻的微定位器。

      集成了負載拉力調諧器或更大面積的微定位器,使得TS2000系統成為射頻和毫米波測量的理想選擇。

       

       

       

    • 快速的晶圓裝載

      寬大的前門通道可輕松裝載/卸載100、150、200mm的晶圓,及微小器件的快速更換

      兩只陶瓷專用射頻校準AUX卡盤位于前面,可以很方便地進行裝卸。

       

       

    • 集成硬件控制面板

      智能硬件控制面板完全集成到探針系統中,并基于數十年的經驗和客戶互動而設計,隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀。

       

       

       

    • 溫控系統

      便捷式的觸摸屏來操作熱卡盤(從20°C或環境溫度到最高300°C),實時顯示卡盤溫度,觸摸屏位于操作員前方的便利位置,以實現快速的操作和即時的反饋。

       

       

       

       

    • 探針卡和微型定位器

      多達12套DC或4套DC和4套射頻微型定位器,及4.5英寸的標準探針卡夾具,使該系統成為設計驗證和(或)故障分析工作的理想選擇。

       

       

       

    • 整合式DarkBox

      TS2000-D是集成了DarkBox的TS2000。

      該系統專為各種屏蔽光電磁等敏感器件而設計,嵌入式的互鎖,LED照明和標準化接口面板而設計,是受光和激光安全保護的測試環境的首選。

       

       

    • 儀器集成

      可選的儀器架可縮短電纜長度,并提高 RF和mmW 應用中的測量動態性和方向性。

       

       

       

       

    • 軟件套件SENTIO®

      MPI自動工程探針系統由獨特且革命性的多點觸摸操作控制SENTIO®軟件套件,簡單直觀的操作節省了大量的培訓時間。“滾動”,“縮放”,“移動”命令模仿了現代智能移動設備,使每個人都可以在短短幾分鐘內成為專家。

      集成式的RF應用系統,無需切換到另一個軟件平臺——MPI RF校準軟件程序QAlibria®與SENTIO®完全集成在一起,遵循單一操作概念方法,易于使用。

       

       

       

    • 隔振系統

      TS2000結合了兩種類型的隔振解決方案,總占地面積較小,可以在不同的實驗室測試環境中更好地運行。

       

       

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