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ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微屏蔽暗箱,可為超低噪聲,低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。

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ShielDCap™
MPI ShielDEnvironment™允許多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin等多種測試組合。
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自動化晶圓裝載系統
該功能提供了非常方便的晶圓裝載,并且易于針對自動程序進行預對準,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓。

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安全管理(STM)系統
獨特的STM系統可防止在測試過程中打開正門,以保證測試過程的安全,任何情況下都無法打開任何系統門。獨特的智能露點控制程序可避免冷測試期間的積聚,系統自動監視CDA或氮氣的流量。如果流量中斷或流量不足,則STM™會自動將卡盤轉換為安全模式,迅速將卡盤加熱至露點以上。MPI STM™的功能是通過保持安全的測試環境,使TS2000-SE的測量更加安全,可靠和方便。

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高效率的裝卸
自動化的單晶圓裝載機和安全測試管理提供了獨特的功能,可以在卡盤任意溫度下更換晶圓,不再需要冷卻或加熱到環境溫度。這樣可以節省大量的等待時間,并顯著提高MPI測試系統的整體效率,可支持100mm-200mm不同尺寸晶圓。

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側視影像系統(VCE™)
借助MPI8寸探針臺獨特的自動側視– VCE™影像系統可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸,使用DC或RF等探針卡非常安全。

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ERS獨特的 AC3冷卻技術
MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統,可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™,可大幅減少30%至50%的空氣消耗。

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MPI THZ選項
它將TS2000-SE系統轉換為專用的mmW和THz探針臺,是自動化探針臺測試系統:
MPI THZ Selection融合了MPI為TS200-THZ開發的頻率擴展器集成創新設計,可將擴展器懸停在整個200 mm晶圓上;
這將與DUT的距離減至較小,以提供較佳的測量方向性和準確性。

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溫控系統
溫度控制可以通過集成的觸摸屏顯示器來操作,該顯示器位于操作員前方的便利位置,以實現快速的操作和即時的反饋。
TS2000-SE內置集成了高性能的振動隔離平臺,可在任何實驗室測試環境中更好地運行??傉嫉孛娣e較小??蛇x的儀器架可縮短電纜長度并增加測量動態性和方向性。
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控制面板
智能硬件控制面板完全集成到探針系統中,并基于數十年的經驗和客戶互動而設計,以提供更快,更安全,更便捷的系統控制和測試操作。隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀。

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