特點與優勢

• ERS集成技術（IT）

  在不同溫度下進行晶圓探測仍然是一個重大挑戰。MPI與ERS一起在所有MPI Engineering Probe System中提供熱卡盤的統一軟件和硬件集成。新的集成技術（IT）負責：

  ·   測量結果

  ·   減少維護

  ·   同類最佳的熱特性

  ·   較快的過渡時間

  ·   更好的系統平坦度

  ·   在整個溫度范圍內具有出色的熱分布

   

  

• MPI和ERS AirCool®PRIME技術

  MPI公司和ERS電子有限公司共同設計了新型300mm熱卡盤AirCool®PRIME技術系列，可將浸泡時間減少60％。

  這些系統可以配置為具有-60°C，-40°C，-10°C，20°C或30°C的較低溫度起點，并具有200°C或300°C的較高終點，所有這些都是為了適應不同的需求和預算。AirCool^®PRIME 技術可以在沒有冷卻器的情況下在-10°C下進行測試，或者使用非常小的冷卻器在-40°C下進行測試，從而使系統極具成本效益，降低了總體測試成本。

  減少轉換時間，改善電氣性能，在惰性氣體氣氛下進行更輕松的測試以及現場可升級性是AirCool®PRIME 熱卡盤系統的附加價值。

   

   

  

• 熱控制器

  熱控制器觸摸屏面板無縫集成到所有MPI的探針系統中，提供了極為方便的操作，并大大減少了測試單元的占地面積。

   

   

   

   

   

  

• ERS獨特的AC3冷卻技術

  這些卡盤結合了獨特的AC3冷卻技術和自我管理系統，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™，可大幅減少30％至50％的空氣消耗。

   

   

   

   

   

  

• 高熱穩定性探針臺板

  所有MPI 300°C系統都包括專用的高熱穩定性探針壓板，無論溫度范圍如何，都能實現較佳的接觸質量。

   

   

  輔助夾頭

  所有MPI RF卡盤都包括兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的RF校準。