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    產品中心

    Chuck System

    對于不同的要求,MPI提供了多種:
    · 同軸
    · 三軸
    · 射頻
    · 毫米波
    · 大功率夾頭
    · 從環境溫度到-60°C至300°C
    可用選項的示例包括帶有真空孔的專用頂表面,鍍金或純絕緣材料制成的表面。創新的思維和技術專長使MPI設計與眾不同,并且基于特定應用程序的實際需求。

    特點與優勢

    • ERS集成技術(IT)

      在不同溫度下進行晶圓探測仍然是一個重大挑戰。MPI與ERS一起在所有MPI Engineering Probe System中提供熱卡盤的統一軟件和硬件集成。新的集成技術(IT)負責:

      ·   測量結果

      ·   減少維護

      ·   同類最佳的熱特性

      ·   較快的過渡時間

      ·   更好的系統平坦度

      ·   在整個溫度范圍內具有出色的熱分布

       

    • MPI和ERS AirCool®PRIME技術

      MPI公司和ERS電子有限公司共同設計了新型300mm熱卡盤AirCool®PRIME技術系列,可將浸泡時間減少60%。

      這些系統可以配置為具有-60°C,-40°C,-10°C,20°C或30°C的較低溫度起點,并具有200°C或300°C的較高終點,所有這些都是為了適應不同的需求和預算。AirCool®PRIME 技術可以在沒有冷卻器的情況下在-10°C下進行測試,或者使用非常小的冷卻器在-40°C下進行測試,從而使系統極具成本效益,降低了總體測試成本。

      減少轉換時間,改善電氣性能,在惰性氣體氣氛下進行更輕松的測試以及現場可升級性是AirCool®PRIME 熱卡盤系統的附加價值。

       

       

    • 熱控制器

      熱控制器觸摸屏面板無縫集成到所有MPI的探針系統中,提供了極為方便的操作,并大大減少了測試單元的占地面積。

       

       

       

       

       

    • ERS獨特的AC3冷卻技術

      這些卡盤結合了獨特的AC3冷卻技術和自我管理系統,可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™,可大幅減少30%至50%的空氣消耗。

       

       

       

       

       

    • 高熱穩定性探針臺板

      所有MPI 300°C系統都包括專用的高熱穩定性探針壓板,無論溫度范圍如何,都能實現較佳的接觸質量。

       

       

      輔助夾頭

      所有MPI RF卡盤都包括兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤,用于精確的RF校準。

       

       

       

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