霍爾效應測試系統ezHEMS
?電阻率測量范圍:10-4-109?·cm(取決于樣本)
?遷移率:1-107cm2/V·S(取決于樣本)
?載流子濃度: 107 -1021 per cm3 (取決于樣本)
?電流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance
全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計；
無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或寬帶擴頻器；最大的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作；
?電阻率測量范圍:10-4-109?·cm(取決于樣本)
?遷移率:1-107cm2/V·S(取決于樣本)
?載流子濃度: 107 -1021 per cm3 (取決于樣本)
?電流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance
•電阻率測量范圍:10-4-109?·cm(取決于樣本)
•遷移率:1-107cm2/V·S(取決于樣本)
•載流子濃度: 107 -1021 per cm3 (取決于樣本)
•電流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance
•測試霍爾電壓可小至:0.1µV
•支持霍爾巴和范德堡樣品測試
•磁場大小:0.6Tor1T永磁鐵
•溫度
HT head (300-800K)
RT head (300K)
LT head ( 80-500K)
•樣本量
LT and HT heads; 5x5mm -15x15mm
RT head; 10x10mm
Thickness ≤2 mm for 1T magnetic field
Thickness ≤5 mm for 0.6T magneic field
•通過軟件控制電磁鐵運動
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