全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計；
無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或寬帶擴頻器；最大的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作；
此恒溫器是光學恒溫器的一個延伸產品，樣品桿從光學恒溫器的側面引出，同時樣品所在位置具有光學窗口，方便和顯微鏡配合使用。配合控溫儀可以實現80K-500K范圍內任意溫度點的精準控溫。由于液氮做冷媒，降溫控溫過程中沒有機械振動，所以特別適合低振動樣品的電學光學測量。樣品置于真空環境中，標配8根測試引線（可選配更多測試線）可配置多樣的電學測試引線：無氧銅漆包線、磷青銅熱導率低的低溫線、低溫同軸線以及低溫三同軸線。樣品端真空罩通過KF40快接卡箍和主腔體相連，更換樣品更方便。
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LNC-MS系列液氮恒溫器規格技術參數 |
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降溫時間（室溫到78K） |
45分鐘 |
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溫度范圍 |
65K-500K |
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液氮容積 |
400mL |
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溫度穩定性 |
50mk（控溫儀相關） |
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夾層真空度 |
優于10-2Pa |
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液氮保持時間 |
80K（4.5小時） |
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100K（4小時） |
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200K（2小時） |
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300K（1.5小時） |
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窗口數量 |
1-4 |
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窗口材料直徑 |
可選 |
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重量 |
11.5公斤 |
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注：以上數據來自于標準版顯微鏡恒溫器，接受定制任何形式的顯微鏡恒溫器。 1.低于78K要使用減壓裝置 2.需另購控溫儀完成變溫以及控溫 3.樣品座接受定制 4.可以增加測量引線 |
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