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    一維磁場探針臺

    英鉑磁場探針臺為材料以及早期的電子器件的非破壞電學測量提供了精確的可控環境??墒刮锢砜茖W家和研究員通過方便的,可重復的測量進行基礎的科學研究并得到連續的結果。磁場探針臺是一個多用的靈活的研究平臺,可被用于專用的或者多用的團體研究資源。 探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本 本磁場探針臺采用無磁材料制成,一對類亥姆霍茲線圈水平放置,產生平面內水平磁場,線圈采用自然風冷結構,并且配備有線圈過熱保護,因此磁場可以長時間穩定工作。根據出廠標定的電流磁場對應關系,通過電源前面板或者軟件輸入相應電流,已達到所要求磁場,也可選配高斯計實時監測磁場的大小。探針臺配備有可移動樣品臺,可以實現水平方向二維移動和樣品臺360度旋轉,便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。典型的應用包括樣品的IV曲線測試,微波測試,光電測試,表征變磁環境下的磁輸運特性,理解載流子濃度的霍爾效應測試,和其它材料的研究。

    特點與優勢

    • 產品配置

      樣品臺

      參數

      樣品臺直徑

      最大60mm(可更換)

      X方向行程

      ±20mm

      Y方向行程

      ±20mm

      旋轉角度

      360°

      旋轉精度

      0.1°

      材料

      無磁

      探針座

      參數

      X向行程

      ±12mm

      Y向行程

      ±12mm

      Z向行程

      ±12mm

      分辨率

      20μm

      三圍尺寸

      38W*62D*54H

      重量

      200克

      注:探針座可選

      探針

      參數

      長度

      38mm

      直徑

      0.51mm

      針尖直徑

      10μm

      材料

      鎢(鈹銅)

      注:探針材料、直徑、針尖可選

      顯微鏡

      參數

      成像元件

      CMOS

      成像原件像素

      1000萬

      有效像素

      1280*1024

      連續變倍

      6X-300X

      視場范圍

      3.5mm-35mm

      調焦范圍

      65mm

      鏡頭直徑

      50mm

      最小分辨率

      1微米

      輸出視頻

      VGA

      顯示器

      9寸LCD

      注:顯微鏡分辨率、放大倍數、視場范圍等可選

       

       
    • 產品優點

                                               ·線圈骨架采用優質鋁合金制作,線圈內側采用鏤空結構,有利于線圈的散熱

       

                                               ·線圈采用優質耐180℃高溫定制線繞制

       

                                               ·線圈整體經過電磁仿真軟件優化,最大化提高電流利用效率 

       

                                               ·輕量化線圈,減少熱量產生

       

                                               ·四個高精度探針座,分辨率20微米

       

                                               ·四個低頻探針,頻率高達1GHz

       

                                               ·CCD數字顯微鏡,放大倍數達到300倍

       

                                               ·9寸CCD顯示器

       

                                               ·三維無磁樣品臺,實現水平二維移動和樣品臺自身旋轉

       

                                               ·前面板同軸測量接口,方便連接測量引線

       

                                               ·整體無磁材料制作

       

                                               ·可定制樣品臺

       

                                               ·供電接口采用優質航空接頭,方便易用

       

                                               ·表面進行氧化、噴塑等處理

       

                                               ·可長時間工作,不需要值守

       

       

       

       

      系統描述

       

       

                                               ·一維水平磁場(可以選配二維磁場或者三維磁場)

       

                                        ·磁場最大值200Gs(可選配更高磁場)

       

                                       ·高分辨率CCD數字顯微鏡

       

                                       ·三維無磁可調樣品臺,實現水平二維移動和樣品臺自身轉動

       

                                       ·四個低頻探針(可選配高達67GHz的GSG探針)

       

                                       ·四個三維高精度探針座,控制探針精確的移動(可選配增加探針座以及探針)

       

                                       ·磁場均勻區:中心區50毫米球體內1%

       

                                       ·先對電流和磁場的關系進行標定,然后通過給定電流值來得到磁場

       

                                       ·可選配高斯計

       

                                       ·高精度雙極性電源

       

       

       

       

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