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    FS-Pro 半導體參數測試系統

    FS-Pro 半導體參數測試系統是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設備,在一個系統中實現了電流電壓(IV) 測試、電容電壓(CV)測試、脈沖式 IV 測試、高速時域信號采集以及低頻噪聲測試能力。一套設備可完成半導體器件的全部低頻特性表征,其強大而全面的測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的研發評估進程,可無縫地與 9812 噪聲測試系統集成,其快速 DC 測試能力進一步提升了 9812 系列產品的噪聲測試效率。
    基于在產線測試與科研應用方面的優異表現,FS-Pro 不僅被眾多芯片設計公司和半導體代工廠、IDM 公司采用,其全面的測試能力更在科研學術界受到了廣泛關注和認可,目前已被數十所國內外大學及科學研究機構所選用。

    特點與優勢

    • 采用工業通用的 PXI 模塊化硬件結構,配合自主開發的測試軟件 LabExpress,FS-Pro 在半導體工業產線測試與科研應用方面都具有優秀的性能表現,可廣泛應用于各種半導體器件、 LED 材料、二維材料器件、金屬材料、新型先進材料與器件測試等。LabExpress 為用戶提供了豐富的測試預設和強大的測試功能,可實現非常友好的用戶即插即用體驗。 該系統還可支持多通道并行測試,進一步提升測試效率。

       

       

       

      應用范圍

       

      被半導體工業界和眾多知名大學及科研機構采用作為標準測試儀器

       

       

      集成功能

       

      ·  同時具備高速高精度直流測試和脈沖測試能力

      ·  量程范圍寬、測試速度快

      ·  支持小于1us采樣時間的高速時域信號采集

      ·  高達10萬點的數據量可以精細描繪信號隨時間變化特性

      ·  低頻噪聲(1/f noise,flicker noise)測試能力特別是RTN(隨機電報噪聲)測試能力與對準9812

       

       

      使用方式

       

      簡單靈活,無需編程即可實現自由的波形發生或電壓同步與跟隨

       

       

      系統架構

       

      PXI標準機箱,可擴展架構,支持通過多機箱擴展SMU卡數量

       

       

      支持并行測試

       

      內置功能強大的測試軟件和算法,支持多通道并行測試成倍提升測試效率

       

       

    • 硬件規格

       

      寬量程

       200V 電壓,1A 直流電流

       

      內置脈沖測試

       200V 電壓,3A 脈沖電流,小至 50us 脈寬

       

      高速時域信號采集

      采樣時間小于 1us,高達 10 萬點數據

       

      高精度

       30fA 精度,0.1fA 靈敏度

       

      噪聲測試速度

      <10s/bias(大于 0.5Hz 頻率分辨率)

       

      噪聲測試分辨能力

      低至 2e-28A2 /Hz

       

      噪聲測試帶寬

      高速高精度模式下高至 100kHz,超低頻模式下高至 40Hz

       

      噪聲測試頻率分辨率

      高速高精度模式下低至 0.1Hz,超低頻模式下低至 0.001Hz

       

      噪聲測試最小阻抗

      500Ω

       

      內置 CV測試

      200V/10kHz,低至 100fF

       

      外置 CV 測試模塊

      40V/2MHz(高精度型)或 40V/5MHz(高帶寬型)

    • 軟件功能

      FS-Pro 系列內置 LabExpress 測量軟件具有強大的測試和分析功能,該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設定,具有下列主要功能 :

       

      ·  完整支持直流,脈沖,瞬態,電容和噪聲測試功能

      ·  內置的常見器件測試預設可大大提高測試設置效率,幫助新手操作者快速完成測試

      ·  強大的自定義設定功能可以靈活編輯電信號

      ·  內置強大數據處理能力可測試后直接展開器件特性分析

      ·  多種數據保存方式,導出數據可供用戶后續分析研究也可直接導入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進行模型提取和特性分析

      ·  LabExpress 專業版支持對主流半自動探針臺和矩陣開關設備的控制,支持晶圓映射、并行測試實現自動測試功能,進一步提升測試效率

       

    • IV電流電壓測試

       

       

       

       

    • CV電容電壓測試

       

       

       

       

    • 1/f噪聲測試

       

       

       

       

    • IVT測試

       

       

       

       

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