特點與優勢

• 采用工業通用的 PXI 模塊化硬件結構，配合自主開發的測試軟件 LabExpress，FS-Pro 在半導體工業產線測試與科研應用方面都具有優秀的性能表現，可廣泛應用于各種半導體器件、 LED 材料、二維材料器件、金屬材料、新型先進材料與器件測試等。LabExpress 為用戶提供了豐富的測試預設和強大的測試功能，可實現非常友好的用戶即插即用體驗。 該系統還可支持多通道并行測試，進一步提升測試效率。

   

   

   

  應用范圍

   

  被半導體工業界和眾多知名大學及科研機構采用作為標準測試儀器

   

   

  集成功能

   

  ·  同時具備高速高精度直流測試和脈沖測試能力

  ·  量程范圍寬、測試速度快

  ·  支持小于1us采樣時間的高速時域信號采集

  ·  高達10萬點的數據量可以精細描繪信號隨時間變化特性

  ·  低頻噪聲(1/f noise,flicker noise)測試能力特別是RTN(隨機電報噪聲)測試能力與對準9812

   

   

  使用方式

   

  簡單靈活，無需編程即可實現自由的波形發生或電壓同步與跟隨

   

   

  系統架構

   

  PXI標準機箱，可擴展架構,支持通過多機箱擴展SMU卡數量

   

   

  支持并行測試

   

  內置功能強大的測試軟件和算法，支持多通道并行測試成倍提升測試效率

   

   

• 硬件規格

   

  寬量程

   200V 電壓，1A 直流電流

   

  內置脈沖測試

   200V 電壓，3A 脈沖電流，小至 50us 脈寬

   

  高速時域信號采集

  采樣時間小于 1us，高達 10 萬點數據

   

  高精度

   30fA 精度，0.1fA 靈敏度

   

  噪聲測試速度

  <10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）

   

  噪聲測試分辨能力

  低至 2e-28A2 /Hz

   

  噪聲測試帶寬

  高速高精度模式下高至 100kHz，超低頻模式下高至 40Hz

   

  噪聲測試頻率分辨率

  高速高精度模式下低至 0.1Hz，超低頻模式下低至 0.001Hz

   

  噪聲測試最小阻抗

  500Ω

   

  內置 CV測試

  200V/10kHz，低至 100fF

   

  外置 CV 測試模塊

  40V/2MHz（高精度型）或 40V/5MHz（高帶寬型）

• 軟件功能

  FS-Pro 系列內置 LabExpress 測量軟件具有強大的測試和分析功能，該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設定，具有下列主要功能 :

   

  ·  完整支持直流，脈沖，瞬態，電容和噪聲測試功能

  ·  內置的常見器件測試預設可大大提高測試設置效率，幫助新手操作者快速完成測試

  ·  強大的自定義設定功能可以靈活編輯電信號

  ·  內置強大數據處理能力可測試后直接展開器件特性分析

  ·  多種數據保存方式，導出數據可供用戶后續分析研究也可直接導入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進行模型提取和特性分析

  ·  LabExpress 專業版支持對主流半自動探針臺和矩陣開關設備的控制，支持晶圓映射、并行測試實現自動測試功能，進一步提升測試效率

   

  

• IV電流電壓測試

   

  

   

  

   

   

• CV電容電壓測試

   

  

   

  

   

   

• 1/f噪聲測試

   

   

   

   

  

• IVT測試