EVS Probe Card
EVS探針卡是對傳統bucklingbeam探針卡的增強。主要特點是更高的載流能力（C.C.C.）和更低的平衡接觸力（BCF），以及整體的MEMS特性。EVS可以輕松滿足先進晶圓探測的要求，精確對準和良好的平面度控制是穩定接觸電阻的關鍵因素。憑借其容量和性能，EVS 是高級探卡的理想選擇。
全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計；
無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或寬帶擴頻器；最大的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作；
EVS探針卡是對傳統bucklingbeam探針卡的增強。主要特點是更高的載流能力（C.C.C.）和更低的平衡接觸力（BCF），以及整體的MEMS特性。EVS可以輕松滿足先進晶圓探測的要求，精確對準和良好的平面度控制是穩定接觸電阻的關鍵因素。憑借其容量和性能，EVS 是高級探卡的理想選擇。
類MEMS特性
具有平頭和尖頭兩種
較小的針痕
對80um以上的pitch更理想
平面接觸力比常規屈曲梁低50%
載流能力比常規屈曲梁高40%
更長的葉尖長度有助于延長使用壽命
.與MPl內部基板兼容
上海市松江區廣富林東路199號啟迪漕河涇三期13幢2層
上海市高新技術企業，上海市“專精特新”企業
COPYRIGHT 2017-2022 ? 英鉑科學儀器（上海）有限公司 ALLRIGHT RESERVED 備案號：滬ICP備18025555號-2 XML地圖