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    EVS Probe Card

    EVS探針卡是對傳統bucklingbeam探針卡的增強。主要特點是更高的載流能力(C.C.C.)和更低的平衡接觸力(BCF),以及整體的MEMS特性。EVS可以輕松滿足先進晶圓探測的要求,精確對準和良好的平面度控制是穩定接觸電阻的關鍵因素。憑借其容量和性能,EVS 是高級探卡的理想選擇。

    特點與優勢

    • EVS主要特點

       

       

       

      類MEMS特性

       

      具有平頭和尖頭兩種

       

      較小的針痕

       

      對80um以上的pitch更理想

       

      平面接觸力比常規屈曲梁低50%

       

      載流能力比常規屈曲梁高40%

       

      更長的葉尖長度有助于延長使用壽命

       

      .與MPl內部基板兼容

       

       

       

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